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激光加工​,扫描光学系统和聚光光学系统

更新时间:2024-02-27      浏览次数:118

扫描光学系统和聚光光学系统

无掩模光刻,一般根据CAD数据进行直描加工。
根据扫描方法不同,可分为扫描光学系统和聚光光学系统。(也有两者结合的混合型)


扫描光学系统聚光光学系统
扫描方法振镜扫描平台扫描
扫描速度高速低速
扫描区域
聚光方法fθ透镜物镜
光斑尺寸数10μ 〜 数100μ亚微米 〜 数10μ
焦点深度
扫描系统


聚光系统(附观察系统)





















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